随着使用者对电容式位移传感器的认识不断发展，电容式位移传感器被应用到更多领域并发挥着越来越大的作用，这里简单探讨几点其的优势：高精度电容式传感器电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器，具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所，高等院校、工厂和研发部门得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。

　电容式微位移传感器是将待测位移转换为电容量变化的装置。它实质上是个具有可变参数的电容器。和其他传感器不同，电容式位移传感器输入能量极低，只需要非常小的输入力。由于带电板板之间的静电引力很小，只有几个牛顿，因此电容传感器特别适用于解决输入能量极低的测量问题，尤其适合于微小的位移测量。温度稳定性好。传感器的电容值一般与电极材料无关，有利于选择温度系数低的材料，又因本身发热极小，对稳定性影响甚微。结构简单，适应性强，待测体是导体或半导体均可,可在恶劣环境中工作。

　电容式传感器结构简单,易于制造,可做得非常小巧，以实现某些特殊的测量;能工作在高低温、强辐射及强磁场等恶劣的环境中，也能对带有磁性的工件进行测量。其可以获得比较大的相对变化量，采用高线性电路，动态范围可达到100%或更大，这就可以大大提高传感器的输出能力。动态响应快。电容传感器系统的固有频率高，同时电容的介质损耗非常小，因而特别适合于动态测量的场合。可以实现非接触测量，具有平均效应。例如非接触测量回转轴的振动或偏心、小型滚珠轴承的径向间隙等。当采用非接触测量时,电容式传感器具有平均效应，可以减小工作表面粗糙等对测量的影响。

　电容位移传感器和激光位移传感器的区别：电容位移传感器：优点——分辨率比较高，有的达纳米级；缺点——测量之前必须使用与被测体相同的材料进行校准，如果实际测量的工件的材料与校准材质略有成分差异或者均匀度差异，就会出现误差。所以老实说很多情况我一般不推荐用电容位移传感器。

　激光位移传感器高精度的主要有三种原理：1）激光三角反射原理：优点——偏宜（当然有些品牌会忽悠人，卖很贵）；分辨率一般微米级，有些品牌宣称零点几甚至零点零几微米，那是不对的，不要相信，最简单拆穿的方法就是把它的移动平均改为1次，一般都会有一到几微米的波动。缺点：扫描分辨率很差。2）激光共焦法：优点——精度很高，根据量程，分辨率几个纳米至几十个纳米（没有平均数），精度一般几十纳米至1000纳米左右；不受材质影响，甚至可用于测量粗糙度；缺点——相对三角反射原理会贵一些（当然，相对于那些虚高的三角反射原理，也显得没那么贵了）。3）激光干涉法：优点——精度很高，一般都是纳米级；缺点——只能测量镜面物体，漫反射物体和反光比较弱的物体不适用，而且被测体与测量头之前的角度一定要非常小。