电容位移传感器本质上讲是测量探头到被测物体之间介电常数的变化，换算成距离值。所以其可以精确的测量导电体到探头之间的距离。绝对误差可以小于微米级别。但是需要测量环境相对干净，因为油污，水气等都会影响介电常数，从而影响测量结果。以德国米铱电容传感器举例，测量的范围从0.05mm到10mm都有。具体你可以参考他们的网站。

　对于一般的声发射应用，信号频带范围大多在25kHz～750khz之间，因此谐振传感器更适合。金属材料和其他应用通常使用一般宽带频率为150kHz的谐振窄带传感器；对于腐蚀、泄漏等声发射信号，常用谐振频率为40KHz的谐振传感器；由于宽带传感器在宽频带内的响应灵敏度相对较低，因此选择宽带传感器进行频谱分析。清诚声发射传感器采用优质不锈钢材料，整体屏蔽设计，有效减少干扰；适用于桥梁断丝监测，阀门管道泄漏监测，刀具磨损监测，风电设备监测，转动设备声发射监测，结构件损伤监测，储罐底板声发射监测

　电容式位移传感器的分辨率很高。缺点是量程非常短，而且测量之前需要使用标准片进行校准，一旦实际测量的物体材质、成分或者均匀度与标准片略有差异的时候，测量精度就会直线下降，甚至出现致命错误。建议，如果被测体是镜面物体，使用激光干涉法的传感器，或者使用光谱共焦传感器；如果被测体是非镜面物体，使用光谱共焦的传感器。这两种传感器的分辨率都是纳米级的。