电容式传感器是以各类的电容器作为传感元件，将被测物理量或机械量转换成为电容量变化的一种转换装置。因此电容式传感器电容传感器的阻抗很高！造成输出阻抗小，负载能力差！容易受外界因素干扰！产生不稳定现象！容栅式传感器是一种基本变面积工作的原理。所以容栅式传感器类似于平行板电容器！是由一组排列成栅状结构的平行板电容并联起来的！通过电子电路的控制，在同一个瞬间以不同的相位分布！又分别加载于顺序排列的极栅上！这时候另外一块公共极板上，任何信号都将会瞬间加载在激容栅传感器！简单的说，电容式是分布在同一电路板上的不同电容！容易受外界因素影响，产生不稳现象！而容栅式传感器是将相同的电容分布在不同的的电路板上，又是的他们互相串联！从而使得抗外界影响能力大大提高！不过成本也对应提高很多！所以容栅式传感器在电子测量领域中占有十分重要的地位！除去这两种不同结构却相同原理传感器之外！还有磁栅尺，光栅尺等！

　首先不同行业对精密的定义不甚一样。其中主要设计的概念包括精度，分辨率和重复性。精度也称线性度，或者绝对误差。指传感器测量值偏离理论真实值的最大偏差。分辨率指传感器能够产生输出变化所需的最小位移变化量。重复性指传感器反复测量同一位置，测量值之间的变化量。高端精密电容位移传感器，精度可达纳米级别。分辨率会更小，重复性很大程度上取决于传感器是否有好的温度补偿功能和环境的稳定性。电容传感器目前国际上比较高端的牌子有德国米铱和美国MTI,当然价格也会相对高一些。如果是真的需要超高性能的领域，如精密零件的测量，精密机构的移动（如光刻机定位）等，还是要采用高端的传感器。

　电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器，具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所，高等院校、工厂和军工部门得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。目前主要类型为ZCS1100型、ZNXsensor型、FWS-CⅡ型、FW-C1型。编辑本段电容位移传感器特点:1.旋转轴的径向跳动，轴向窜动和回转精度；2.往复机构的运动特性和重复定位精度；电容位移传感器3.正弦波激振和脉激振中振动测量；4.机器零部件相对振动相对变形；5.盘类零件的端面振摆；6.轴承间隙和油膜厚度；7.检测零部件尺寸和平直度；8.线切割机床电极丝的振动；9.机床主轴热位移与动态加载试验测量；10.也可用于金属导体之外的绝缘物体（如大理石、塑料、砂轮、玻璃、陶瓷等）的振动、位移测量。电容位移传感器特点：量程：初始间隙δo与传感器电极板do分辨率：0.01nm零磁滞非线性：±0.25%FSO频带可调：50～5000Hz灵敏度可调：5～125μm/V输出信号：0—±5.0V零漂：≤±0.25%FSO电源：±15V体积：19cm×12cm×8cm。