压电陶瓷传感器工作原理正压电效应和输出信号
发布时间:2025-04-16 17:36:43点击量:
压电陶瓷传感器利用压电效应实现机械-电信号转换,适用于动态力、振动、超声波等测量,但需注意温度影响和信号调理。包括正压电效应和逆压电效应,能够实现机械能↔电能的相互转换。在需要高灵敏度、宽频响或低成本的场景中,它比石英传感器更具优势。
1、压电效应的基本原理
(1)正压电效应(机械能→电能)
当压电陶瓷受到外力(压力、振动、冲击)时,内部晶格结构发生变形,导致正负电荷中心偏移,在电极表面产生极化电荷(电压信号)。
(2)逆压电效应(电能→机械能)
当在压电陶瓷两端施加电压时,内部电场导致晶格变形,产生机械位移或振动。
应用:超声波换能器、精密定位(如压电马达)。
2、压电陶瓷的极化处理
压电陶瓷(如PZT,锆钛酸铅)本身是多晶体,未经极化时不具有压电性。其压电性能通过高压直流极化获得:
(1)高温极化:在居里温度(如PZT约200°C)附近施加强电场(1~3 kV/mm)。
(2)畴取向排列:电畴(自发极化区域)沿电场方向定向排列,形成宏观压电性。
(3)冷却固化:保持电场直至冷却,使电畴固定排列。
极化方向决定了压电陶瓷的敏感方向(如d₃₃模式:沿极化方向受力)。
3、压电陶瓷传感器的典型结构
常见结构包括:
(1)单层/多层堆叠:提高灵敏度(如压电加速度计)。
(2)悬臂梁结构:用于振动或触觉传感。
(3)圆片/环形结构:用于超声波发射或压力检测。
(4)电极材料:通常为银浆或溅射金属(如Au、Ag)。
4、信号测量方式
由于压电陶瓷输出的是高阻抗电荷信号,需配合测量电路: