激光高精度位移传感器在测量微米甚至纳米级运动、振动、位移参数时用途较为广阔，它通过激光发射器每秒发射一百万个激光脉冲到检测物并返回至接收器，处理器计算激光脉冲遇到检测物并返回至接收器所需的时间，以此计算出距离值，该输出值是将上千次的测量结果进行的平均输出。激光分析法适合于长距离检测，测量精度相对于激光三角测量法要低，测量被测物的位置、位移等变化，主要应用于检测物的位移、厚测量。真尚有激光高精度位移传感器原理分为激光三角测量法和激光回波分析法,激光三角测量法一般适用于高精度、短距离的测量，而激光回波分析法则用于远距离测量。另外，模拟量与开关量输出可独立设置检测窗口。

　激光三角测量法原理是激光发射器通过镜头将可见红色激光射向被测物体表面，体反射激光通过接收器镜头，被内部的CCD线性相机接收，根据不同的距离，CCD线性相机可以在不同的角度下“看见”这个光点。根据这个角度及已知的激光和相机之间的距离，数字信号处理器就能计算出传感器和被测物体之间的距离。同时，光束在接收元件的位置通过模拟和数字电路处理，并通过微处理器分析，计算出相应的输出值，并在用户设定的模拟量窗口内，按比例输出标准数据信号。

　如果使用开关量输出，则在设定的窗口内导通，窗口之外截止。激光高精度位移传感器采用回波分析原理来测量距离以达到一定程度的精度。传感器内部是由处理器单元、回波处理单元、激光发射器、激光接收器等部分组成，因此为高精度特制数字位移而设计。

　不同类型的传感器有不同的精度，有毫米级、微米级，甚至纳米级的。高精度位移传感器又称为高精度线性传感器，它分为电感式高精度位移传感器，电容式高精度位移传感器，光电式高精度位移传感器，高精度位移传感器超声波式高精度位移传感器，霍尔式高精度位移传感器。具体问题可以咨询专业的厂家，以OMEGA为例。自1962年成立以来，OMEGA已经从一个只生产单一产品线:热电偶的厂家成长为在技术市场领先全球的制造厂商，提供10万余种用于测量和控制温度、湿度、压力、应力、流量、液位、酸碱度及传导性的先进产品。

　做位移传感器的有光栅尺，精度能达到微米的，用于机床精加工的较多，印刷业也有用；超声位移传感器，精度达到厘米级，对被测物体面积有要求激光位移传感器，精度达到豪米级，进口测量距离能达到公里级，国产承拓产品测量距离能达到百米级。