电容式位移传感器作用类型有几种,如何实现传感器位移测量?
对于一般的声发射应用,信号频带范围大多在25kHz~750khz之间,因此谐振传感器更适合。金属材料和其他应用通常使用一般宽带频率为150kHz的谐振窄带传感器;对于腐蚀、泄漏等声发射信号,常用谐振频率为40KHz的谐振传感器;由于宽带传感器在宽频带内的响应灵敏度相对较低,因此选择宽带传感器进行频谱分析。清诚声发射传感器采用优质不锈钢材料,整体屏蔽设计,有效减少干扰;适用于桥梁断丝监测,阀门管道泄漏监测,刀具磨损监测,风电设备监测,转动设备声发射监测,结构件损伤监测,储罐底板声发射监测
电容式位移传感器是通过改变电容两极板间的电荷实现测量的。常用的方法有三种:变极板间距离的变极距型;改变极板面积的变面积型;还有就是改变介质介电常数的变介质型。现在所介绍的是变极距型的电容式位移传感器。电容式位移传感器可以应用在:压电微位移、振动台,电子显微镜微调,天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等。
常见的有变截距型,便面积型,变介电常数型。但是用于位移测量的通常是采用变截距原理的。也就是用被测物体(需要具有导电性)作为电容的一个极板,用传感器作为电容的另外一个极板。会影响这个电容电容值的因素就是距离,正对面积和间隙介质。如果想用电容传感器测位移,就要确保后两者不会变化。可以测量导体材料和非导体材料(测量非导体材料时,采用变介电常数原理)。绝对误差可以达到0.1微米,分辨率达到0.0375纳米。但是要求不能有油污和水等影响因素(恒定的油污和水也是可以补偿的,不恒定的就会有问题),否则会影响电容的介电常数。
变截距型,便面积型,变介电常数型传感器的电极和被测物体的电极组成平板电容器的两个极板,当交流电源接在传感器测量电极上时,传感器测量电极上产生的交流电压与平板电容器电极之间的距离成正比,从而实现位移测量。