封闭式柔性压阻式压力传感器的结构变化体系
发布时间:2022-03-01 17:30:05点击量:
可扩展的、经济的、简单的、省时的和环境友好的柔性压力传感器的制造是开发柔性传感器/电子产品的主要驱动力,并且以这种方式制造精密的压力敏感传感器是当前的挑战。
在这里,我们用传统的聚合物加工方法报道了一种具有上述特性的封闭式柔性压阻式压力传感器。利用市售金属丝网模板和转印法制备了微结构可定制的聚二甲基硅氧烷/碳纳米结构(PDMS/CNS)复合膜压力传感器。获得具有面对面微结构的适当闭塞配置,派生的传感器显示出高压力灵敏度(1.214 kPa-1)在微压(<100 Pa)下,
具有超低检测限(1.75 Pa)、快速响应、超低工作电压(0.1 V),以及超过1700次循环的出色传感稳定性。具有可编程尺寸、形状和灵敏度的压力传感器能够以即时和精确的响应区分不同形式和频率的输入压力信号,从而在柔性电子产品中具有潜在应用。